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真空烧结炉使用中常见的问题解决方法

作者: 发布时间:2018-06-07 浏览次数:601

真空烧结炉使用中常见的问题解决方法

真空烧结炉正常工作时突然出现现停电故障,应立即打开电源控制柜确认是外部停电故障,还是设备内部电源故障。如果是外部停电故障应立即关闭总电源开关,并取下进口和出口传送带上的硅片。真空压力烧结炉正常工作时突然无冷却水,设备会自动停止运转,同时警报被触发。此时应取下进口和出口传送带上的硅片,在设备PC上下载冷却工艺。清洁完传送带后设备无法开启可以真空压力烧结炉进口和出口处的紧急停止开关被按下,拔出紧急停止开关即可解除机械锁定。

  

  另外真空烧结炉在平时的使用中要做好检查的工作,以免在使用时不能正常地使用。


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